0

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

275 руб.
Купить на сайте ЛитРес

Издатель: "БИНОМ. Лаборатория знаний"

Серия: Нанотехнологии

Год выхода: 2013

ISBN: 978-5-9963-2129-2

Информация о книге:
страниц: ~0
знаков: ~0
Жанры: Технические
Рейтинг: 0.000
Голосов: 0

Ваша оценка
Поделиться оценкой:
Поделиться с помощью Вконтакте Поделиться с помощью Facebook Поделиться с помощью Twitter
Добавлена: 30.06.2015
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Похожие книги

Отзывы читателей (0)

Подписаться на комментарии к этой книге