0

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

242 руб.
Купить на сайте ЛитРес

Издатель: "БИНОМ. Лаборатория знаний"

Серия:

Год выхода: 2012

ISBN: 978-5-9963-0915-3

Информация о книге:
страниц: ~0
знаков: ~0
Жанры: Технические
Рейтинг: 0.000
Голосов: 0

Ваша оценка
Поделиться оценкой:
Поделиться с помощью Вконтакте Поделиться с помощью Facebook Поделиться с помощью Twitter
Добавлена: 30.06.2015
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Похожие книги

Отзывы читателей (0)

Подписаться на комментарии к этой книге