0

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2

253 руб.
Купить на сайте ЛитРес

Издатель: "БИНОМ. Лаборатория знаний"

Серия:

Год выхода: 2012

ISBN: 978-5-9963-0913-9, 978-5-94774-5

Информация о книге:
страниц: ~0
знаков: ~0
Жанры: Технические
Рейтинг: 0.000
Голосов: 0

Ваша оценка
Поделиться оценкой:
Поделиться с помощью Вконтакте Поделиться с помощью Facebook Поделиться с помощью Twitter
Добавлена: 30.06.2015
Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Похожие книги

Отзывы читателей (0)

Подписаться на комментарии к этой книге